Китайская компания Semiconductor Manufacturing International Corporation (SMIC), крупнейший производитель полупроводников в стране, по сообщениям, освоила производство чипов по 5-нанометровому техпроцессу, не используя при этом технологии экстремальной ультрафиолетовой литографии (EUV). Этот прорыв может существенно изменить ландшафт мировой полупроводниковой индустрии. Об этом сообщает издание GizmoChina.
Вместо EUV SMIC, как утверждается, добилась этого результата, применив более старые установки глубокой ультрафиолетовой литографии (DUV) в сочетании с чрезвычайно сложным процессом, известным как самосовмещенное четырехкратное формирование рисунка (Self-Aligned Quadruple Patterning, SAQP).
Этот технологический успех, подробно описанный в серии публикаций полупроводникового аналитика Уильяма Хоу (William Huo) в соцсети X (ранее Twitter), имеет не только техническое, но и важное геополитическое значение. На протяжении многих лет в индустрии преобладало мнение, что литография в экстремальном ультрафиолете (EUV), производимая исключительно нидерландской компанией ASML, абсолютно необходима для производства чипов по нормам 5 нм и ниже. Из-за экспортных ограничений, введенных США и их союзниками, лишивших SMIC доступа к системам EUV, большинство аналитиков полагали, что амбиции Китая в области передовых чипов остановятся на уровне 7 нм.
Однако SMIC продолжила работу, используя DUV-технологии и, по сути, «выжимая» максимум из имеющегося оборудования. По словам Хоу, это потребовало выполнения многочисленных этапов литографии и травления, в частности, с использованием SAQP, чтобы имитировать точность EUV. Этот метод медленнее, более подвержен ошибкам и дороже по сравнению с EUV, но он оказался работоспособным.
Результатом стал функционирующий чип класса 5 нм, который, как сообщается, уже используется в устройствах, таких как смартфон Huawei Mate 60, работающий на базе процессора Kirin 9000S.
Таким образом, SMIC, по всей видимости, продемонстрировала способность достигать передовых норм техпроцесса, несмотря на отсутствие доступа к ключевому современному оборудованию, что является важным шагом для полупроводниковой индустрии Китая.
Ранее появились первые подробности об iPhone 20.